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半导体专栏 | 良率提升新方向一直以来,先进制程都是芯片巨头竞争的目标,尤其是在摩尔定律逐步放缓乃至失效的今天,任何先进制程方面的进展都受到格外关注。比如苹果新品发布会之前,大家都会关注iPhone 搭载的芯片情况,包括台积电N2的最新进展。 但对于芯片厂商而言,提升良率可能是更为重要的挑战。如果说先进制程代表晶圆厂技术的领先性,那么产品良率就代表着其产品的可靠性和经济性。Entegris首席运营官曾在接受媒体采访时表示,对于尖端的逻辑晶圆厂而言,1%的良率提升意味着1.5亿美元的净利润。因此,提升良率,作为贯穿芯片整个生命周期的话题,是芯片厂商自始至终都需要面临的终极挑战,也是一场芯片厂商的自我较量。 良率与器件可靠性也有紧密的关联,因此很多客户特别是汽车电子行业客户,对良率就有着低dppm甚至0 dppm的要求。 原材料分析检测 实验室来料检测往往是晶圆厂材料端质量检测的第一道关卡,其中湿电子化学品的品控会对其杂质如金属离子等含量进行严格的监控,这也是按照SEMI标准对不同品质化学品分级的依据之一。 但由于不同工艺段对于化学品的浓度、混配配方都不一样,故而使用前对化学品的浓度检测也是十分重要的步骤,比如铝刻蚀液中的三元混酸包含磷酸/硝酸/醋酸,其成分配比需要精确的监控才能满足工艺段的使用需求。 梅特勒托利多超越系列滴定仪,利用不同酸之间pKa值的差异来实现一键滴定三种酸的浓度,还可以选配自动进样器提升工作效率,密封滴定等功能防止样品挥发,同时配置梅特勒托利多高端天平实现称量数据的自动传输,甚至自动称量等功能以最大程度提升实验室效率。 梅特勒自动电位滴定仪 Excellence T5 多功能滴定仪,适用于所有应用. T5 Excellence滴定仪为电位法滴定和卡尔费休应用提供了充分的灵活性。可在1到4支滴定管总数内进行扩展,从而满足高级需求。支持InMotion自动化,适用于大吞吐量测试。 One Click用户界面 借助直观的One Click触摸屏界面来定制主界面,以便轻松快速地运行工作流程——轻触屏幕即可。 十分灵活的自动化操作 兼容强大的InMotion自动化。样品更换、复杂滴定、清洁步骤等均可自动运行,从而节省操作员的时间。 梅特勒自动电位滴定仪 Excellence T7 多功能滴定仪,适用于所有应用. T7扩展了超越系列滴定仪的模块化功能,可在1到4支滴定管总数以及1个额外电极主板的范围内进行扩展,以便满足包括KF在内的高级需求。支持InMotion自动化 + 未来可升级至完整的T9功能。 扩展的模块化和可升级性 T7扩大了额外的滴定管和电极主板的选择范围。当未来需求不确定时,T7可以完全升级至T9滴定仪。 十分灵活的自动化操作 兼容强大的InMotion自动化。样品更换、复杂滴定、清洁步骤等均可自动运行,从而节省操作员的时间。 梅特勒自动电位滴定仪 Excellence T9 多功能滴定仪,适用于所有应用. T9具有出色系列内的优良模块化设计。可在1到8支滴定管总数以及2个额外电极主板的范围内进行扩展,以便满足包括卡尔费休在内的高级需求。支持InMotion自动化和2个同步滴定工作流程。 同时运行两种滴定 功能强大的T9可同时运行两种独立的和/或自动的滴定,从而将分析时间缩短多达50%。 “如果…… 那么”做出决策 “如果…… 那么”方法功能确保T9可以使用决策树运行复杂的工作流程,从而节省了需要人为决策的时间。 自动电位滴定仪 Compact G10S 坚固耐用的滴定仪,适用于一般应用. G10S引入了紧凑型滴定仪的耐用且简单的操作和节省空间的设计。多达5种分析方法,具有10种方法函数 + 每位用户4种快捷方式。是有多个操作员的专用QC应用的理想之选。 预定义的方法 包括20种适用于各种行业常见应用的优化方法。直接使用或轻松对它们进行编辑以满足您的需求。 One Click用户界面 借助直观的One Click触摸屏界面来定制主界面,以便轻松快速地运行工作流程——轻触屏幕即可。 即插即用配件 连接时自动识别传感器和滴定管。通过消除额外的数据输入步骤来避免错误,同时缩短仪器设置时间。 自动电位滴定仪 Compact G20S 坚固耐用的滴定仪,适用于一般应用. G20S采用与智能型滴定仪相同的节省空间设计,扩展了其可用性。借助12种方法功能 + 每位用户12种快捷方式以及LabX Express软件,可支持150种分析方法。适用于多种常规滴定和用户。 性能稳定 可靠的智能型滴定仪,日常的一般滴定分析可由多个操作员进行,省时省力,所需培训和维护更少。 扩展的分析选项 凭借扩展的分析方法、方法功能、快捷方式和软件选项,G20S可轻松管理多个应用。 One Click用户界面 借助直观的One Click触摸屏界面来定制主界面,以便轻松快速地运行工作流程——轻触屏幕即可。
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